Контроллер потока газа, 500 см3/мин N2, 4 VCR-разъема, 0–5 В постоянного тока, DB15, металлическое уплотнение Модель: GM50A013502RMM020

Контроллер массового потока G-Series GM50A013502RMM020 имеет полный диапазон потока 5000 sccm и откалиброван для газа азота (N2). Он оснащен соединением Swagelok 4 VCR и 15-типовым D-разъемом с соединенными заземлениями для контроля массового потока от 0 до 5 В постоянного тока. Нормально закрытый клапан имеет металлическое уплотнение. Контроллеры массового потока G Series используют последние алгоритмы управления MKS для быстрого и повторяемого реагирования на заданную точку в диапазоне управления устройством. Типичное время отклика составляет порядка 500 миллисекунд. Цифровая калибровка обеспечивает точность 1% от заданной точки на газе калибровки азота.

Технические характеристики

• Серия G Series
• Тип Контроллер массового потока
• Газ калибровки Азот (N2)
• Полный диапазон потока 5000 sccm
• Максимальное входное давление 150 psig
• Нормальный перепад давления 10 до 40 psid
• Давление на подачу 1000 psig
• Граничное давление 1500 psig
• Тип соединения 4 VCR Male
• Диапазон управления 2% до 100% от полного диапазона
• Сигнал на входе/выходе потока 0 до 5 VDC
• Тип разъема 15-пиновый тип D Male
• Типичная точность ±1% от заданной точки для 20 до 100% полного диапазона, ±0.2% от полного диапазона для 2 до 20% полного диапазона
• Повторяемость ±0.3% от значения
• Разрешение 0.1% от полного диапазона
• Температурный коэффициент нуля

• Температурный коэффициент диапазона
• Коэффициент входного давления
• Типичное время установки
• Время разогрева 30 минут
• Диапазон рабочих температур 10 до 50°C
• Влажность для хранения 0 до 95% относительной влажности, без конденсации
• Диапазон температур хранения -20 до 80°C
• Внешняя герметичность
• Герметичность через закрытый клапан до 10K клапана
• Материалы, контактирующие с потоком 316L нержавеющая сталь VAR, 316 нержавеющая сталь, Elgiloy®, Никель, KM45
• Материал уплотнения Металл
• Поверхностная отделка 10µ дюйм средний Ra (электрополированный)
• Вес 3 lbs (1.4 kg)
• Сертификация CE Да