Контроллер массового потока G-Series GM50A013202RMM020

Контроллер массового потока G-Series GM50A013202RMM020 имеет диапазон полного потока 200 sccm и откалиброван для газа азота (N2). Он оснащён соединением Swagelok 4 VCR male и 15-контактным разъёмом типа D с объединёнными заземлениями для управления массовым потоком от 0 до 5 В постоянного тока. Нормально закрытый клапан имеет металлическое уплотнение. Контроллеры массового потока G Series используют последние алгоритмы управления MKS для быстрого и повторяемого реагирования на заданную точку в диапазоне управления устройством. Типичные времена реакции составляют порядка 500 миллисекунд. Цифровая калибровка обеспечивает точность 1% от заданной точки для газа калибровки азота.

Технические характеристики

• Series: G Series
• Type: Mass Flow Controller
• Calibration Gas: Nitrogen (N2)
• Full Scale Flow Range: 200 sccm
• Maximum Inlet Pressure: 150 psig
• Normal Operating Pressure Differential: 10 to 40 psid
• Proof Pressure: 1000 psig
• Burst Pressure: 1500 psig
• Fitting Type: 4 VCR Male
• Control Range: 2% to 100% of Full Scale
• Flow Input Output Signal: 0 to 5 VDC
• Connector Type: 15-pin Type D Male
• Typical Accuracy: ±1% of set point for 20 to 100% Full Scale, ± 0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
• Repeatability: ± 0.3% of Reading
• Resolution: 0.1% of Full Scale
• Zero Temperature Coefficient:

• Span Temperature Coefficient:
• Inlet Pressure Coefficient:
• Typical Settling Time:
• Warm-up Time: 30 minutes
• Operating Temperature Range: 10 to 50°C
• Storage Humidity: 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
• Storage Temperature Range: -20 to 80°C
• External Leak Integrity:
• Leak Integrity Through Closed Valve: Up to 10K valve
• Wetted Materials: 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, Nickel, KM45
• Seal Material: Metal
• Surface Finish: 10µ inch average Ra (electropolished)
• Weight: 3 lbs (1.4 kg)
• CE Certified: Yes