-
Плоский магнитный ротор для ионного распыления CM
CM — это наш самый миниатюрный концевой блок, предназначенный для установки снаружи. Он способен эффективно поражать цели размером до 1000 мм и имеет номинальную мощность до 20 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Концевой блок CM для наружного монтажа объединяет высокую продуктивность и надежность в компактной и легкой конструкции. Особенности включают настраиваемую длину приводного вала.
-
Ротационный магнетрон модели SC для ионного осаждения
Наш крупнейший концевой блок для внутренней установки, SC, способен обрабатывать детали длиной до 4000 мм и имеет мощность до 200 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Концевые блоки серии SCI отличаются высокой надежностью и простотой в обслуживании. Односторонняя конструкция снижает количество вращающихся и статических уплотнений.
