Концевой блок SC для внутреннего монтажа

Наш самый большой концевой блок для внутреннего монтажа, SC, может обрабатывать цели длиной до 4000 мм и имеет номинальную мощность до 200 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Концевые блоки внутреннего монтажа SCI отличаются высокой надежностью и простой и удобной в обслуживании конструкцией.

Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, одного из наиболее распространенных видов отказов вращающихся катодов. Наша уникальная функция заполнения и слива воды позволяет улучшить охлаждение объекта и полный слив воды при продувке. Такая конструкция исключает возможность возникновения гальванической коррозии внутри концевого блока, которая может привести к протечкам воды и коротким замыканиям.

Концевые блоки SC компании Sputtering Components можно установить на любую новую установку для нанесения покрытий или легко заменить другие вращающиеся концевые блоки или плоские системы.

Особенности

• Запатентованная технология подачи энергии
• Уникальный метод крепления мишени
• Прочные, долговечные вращающиеся уплотнения
• Стандартный монтаж на крышке
• Непатентованная конструкция мишени
• Запатентованная мишень для наполнения и слива воды
• Магнитный стержень можно установить под любым углом

Преимущества

• Высочайшая надежность на рынке
• Простота установки или модернизация концевых блоков конкурентов
• Самая быстрая смена мишеней
• Годовое обслуживание 1 час, полная перестройка концевого блока 3 часа
• Самые низкие затраты на техническое обслуживание
• Используйте мишени от любого поставщика
• Высокая мощность без воздействия индуктивного нагрева – отсутствие пыли от щетки
• Отсутствие гальванической коррозии

Технические характеристики

Характеристики: Опции поворотный, для ионного распыления