Концевой блок CM для внешнего монтажа

CM — наш самый компактный концевой блок для внешнего монтажа. Он может поражать цели размером до 1000 мм и имеет номинальную мощность до 20 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Концевой блок CM для внешнего монтажа сочетает в себе высокую производительность и надежность в очень компактной и легкой конструкции.

Особенности

• Настраиваемая длина приводного вала
• Компактная и гибкая конструкция
• Легкий доступ к картриджу с водяным уплотнением
• Запатентованная технология подачи мощности
• Запатентованное целевое заполнение и слив воды
• Простая конструкция с меньшим количеством деталей
• Магнитный стержень снаружи регулируется под любым углом

Преимущества

• Более широкий охват подложки, чем внутренние концевые блоки
• Подходит для большинства конструкций камер
• Все коммуникации являются внешними и остаются подключенными во время смены мишени
• Высокая плотность упаковки, двойные катоды на пространстве 220 мм (с внутренним диаметром мишени 80 мм)
• Приводные двигатели можно монтировать вверх или вниз, внутрь или наружу
• Высокая мощность без воздействия индуктивного нагрева
• Отсутствие пыли от кисти
• Быстрое и простое обслуживание собственными силами
• Обеспечивает совместное распыление, более плотное соединение с плазмой и ограничивает защитное покрытие

Технические характеристики

Характеристики: Опции поворотный, плоский, для ионного распыления.