Модель

SURFCOM CREST Lp

Метод

Ось Z

Точеная автофокусировка

Ось Х

Оптическая дифракционная шкала

Детектор

Диапазон измерения

10 мм

Разрешение

1 нм

Погрешность (вертикальная)

± (0,1 + 0,4H/10) мкм, H – измеряемая высота в мм (± 0,3 мкм/5 мм)

Диаметр лазерного пятна

1,3 мкм (х100 линза объектива)

Рабочая дистанция

10 мм (х100 линза объектива)

Считывающее устройство

Диапазон измерения

200 мм

Разрешение

0,54 нм

Шаг

От 0,5 до 100 мкм (ед. изм. – 0,1 мкм)

Погрешность

± (0,3 + L/1000) мкм, L – измеряемая длина в мм (±0,5 мкм/200 мм)

Прямолинейная погрешность

(0,12 + 1,5L/1000) мкм, L – измеряемая длина в мм (±0,42 мкм/200 мм)