Описание
Анализатор газов Servomex SERVOPRO NanoChrome специально разработан для полупроводниковой промышленности. NanoChrome обеспечивает высокую надежность мониторинга аргона (Ar), метана (CH4), угарного газа (CO), углекислого газа (CO2), водорода (H2), азота (N2) и неметановых углеводородов (NMHC) в широком диапазоне однородных фоновых газов, включая Ar, H2, гелий (He), N2 и кислород (O2).
Обновленный с большим дисплеем и современным программным обеспечением, NanoChrome использует передовой датчик Plasma Emission Detector (PED) и чувствительное программное обеспечение ProPeak, оба специально разработанные компанией Servomex.
Технология NanoChrome предлагает значительные преимущества по сравнению с традиционными технологиями выявления с помощью пламенной ионизации (FID) и обнаружения редукционных газов (RGD) с точки зрения производительности, стабильности, безопасности и возможности сокращения постоянных затрат. Передовое восстановление сигналов компании Servomex использует запатентованные методы фильтрации ProPeak для обеспечения высокой чувствительности и селективности измерений, на которые можно полагаться. Не требуя метанизатора или горючего газа, NanoChrome также обеспечивает значительные финансовые преимущества.
Технические характеристики
Особенности:
- Ультра-следовые измерения Ar, N2, H2, CH4, CO и CO2, а также NMHC
- Инновационный высокочувствительный датчик Plasma Emission Detector (PED)
- Метод пикового обнаружения ProPeak
- Полное автономное решение для анализа UHP газов
- Цифровая связь для удаленного доступа
- Опция внутренней системы разбавления





