902B-11030 Absolute Piezo Vacuum Transducer

Вакuum трансдюсер 902B-11030 сочетает в себе приборы измерения давления на основе MEMS-пьезо датчика с металлической запечатанной диафрагмой из нержавеющей стали 316 и интегрированной электроникой. Он оснащен фитингом NW16 ISO-KF и интерфейсом цифровой связи RS232 для настройки параметров трансдюсера и обеспечения реального измерения давления. В дополнение, 902B имеет аналоговый выход давления 16 бит 0-10 В DC, который линейно соответствует 10 мВ/Торр и может быть подключен к внешнему аналоговому оборудованию для отображения давления или управления по замкнутому циклу. У него есть разъем DB15 male. Три механических реле включены для использования в процессе управления, например, для блокировки изолирующих клапанов и вакуумных насосов. Реле SPDT включает как нормально открытые, так и нормально закрытые контакты и может быть настроено на срабатывание выше или ниже установленного значения триггера.

Многие приложения требуют непрерывного мониторинга давления в системе и предупреждения о нетипичных уровнях давления. Гибкие релейные опции 902B могут предоставлять сигнал внешней логике безопасности в случае аномального давления и потери питания. 902B обеспечивает экономичное, абсолютное измерение давления, независимое от типа газа. С диапазоном измерений от 0.1 до 1000 Торр, датчик идеально подходит для широкого спектра приложений, включая производство полупроводников, тонкопленочные покрытия, замораживание, аналитические приборы, медицинские устройства, автомобильную и аэрокосмическую промышленность. Серия 902B представляет собой пьезо трансдюсер, основанный на датчике давления с силиконовым пьезорезистором, который измеряет абсолютное вакуумное давление с точностью ±1% от показаний (в диапазоне 10-1000 Торр). Датчик устойчив к механическим вибрациям и силам g. Более того, технология датчика делает трансдюсер независимым от типа газа. С только нержавеющей сталью 316, подвергающейся воздействию процесса газа, трансдюсер может использоваться в самых требовательных приложениях. Компактный дизайн 902B значительно уменьшает занимаемое трансдюсером пространство. Это особенно привлекательно для проектировщиков систем и позволяет разрабатывать компактные системы или оборудование. 902B может использоваться как в качестве автономного устройства, так и вместе с контроллером PDR900.

Технические характеристики

• Тип Вакуумный трансдюсер давления
• Тип датчика Пьезо
• Дисплей Нет
• Диапазон вакуумного давления 0.1 до 1000 Торр
• Аналоговый выход 0-10 В DC (линейный 10 мВ/Торр)
• Тип связи RS232
• Точность 10 – 1000 Торр ±1% от показаний
• Ориентация Любая
• Тип фланца ISO-KF
• Размер фланца NW16
• Реле заданной точки 3
• Рейтинг контактов реле 1 А @ 30 В AC/DC (резистивное)

• Нулевой температурный коэффициент 0.01% от полного диапазона/°C
• Коэффициент температурного диапазона 0.02% от показаний/°C
• Материалы на поверхности Нержавеющая сталь 316
• Ограничение давления 1500 Торр
• Требования к питанию 9 – 30 В DC
• Максимальная температура выпечки 100°C (не работающая)
• Диапазон рабочей температуры 0 – 40°C
• Электрический разъем 15-контактный sub-D male
• Рейтинг герметичности корпуса IP40
• Сертификат CE Да