Оборудование для горизонтальной диффузии/окисления/отжига

Данное оборудование в основном используется для легирования и формирования PN-переходов на кремниевых пластинах в процессе производства кристаллических кремниевых солнечных элементов.

Процесс включает следующие шаги:

• Подготовьте кварцевые лодочки и пластины
• Вставьте пластины
• Загрузка пластин
• Выберите рецепт
• Загрузка лодочки
• Вакуумирование трубки
• Повышение температуры
• Впуск кислорода
• Впуск Pocl3
• Вставьте
• Обработка DOA
• Разгрузка лодочки
• Охлаждение
• Тестирование
• Выгрузка пластин

Преимущества:

• Диффузия под низким давлением, окисление и отжиг
• Технологическое решение с высоким сопротивлением листам
• Запатентованная технология, доступная для диффузии бора
• Уникальная конструкция дверцы печи с двухслойной закладкой
• Запатентованная технология системы очистки выхлопных газов
• Высокоскоростной модульный механизм толкания лодки
• Высокоточная технология стабилизации давления источника воздуха
• Интеллектуальное автоматическое управление
• Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности
• Защита от перегрева, поломки термопары и столкновения лодки
• Подберите интеллектуальное заводское решение SC

Технические характеристики

Характеристики применениедля энергетики

Метод производства большая серия