Особенности

• Четырехквадратичные источники и измерительные возможности в диапазоне от 0.1 fA до 1 A / от 0.5 µV до 200 V для точной характеристики ток-volt (IV)
• Измерительные возможности Spot, Sweep, Pulse и Sampling для различных измерений
• Минимальный интервал измерений 100 μs и минимальная ширина импульса 500 μs
• Измерение Quasi-Static Capacitance-Voltage (QS-CV) с компенсацией токов утечки

Устройства Source/Measure Units (SMUs) являются ключевыми измерительными модулями анализатора параметров полупроводниковых устройств Keysight B1500A. SMUs интегрируют возможности источника и измерения напряжения/тока в одном модуле, что позволяет выполнять точное измерение ток-volt (IV) с разрешением до fA / µV. Производительность измерения низкого тока можно расширить до уровня суб-fA с помощью опционального ASU (Atto sense switch unit), если требуется более высокая производительность измерений. SMU также может выполнять измерения Quasi-Static Capacitance-Voltage (QS-CV). Этот метод измерения позволяет получать характеристики CV на низкой частоте и важен для характеристики состояния поверхности затвора транзистора, а также для высокочастотного CV. Keysight B1500A обеспечивает точное измерение QS-CV с компенсацией токов утечки. В сочетании с возможностями анализа и управления данными программного обеспечения EasyEXPERT, это очень мощный и полезный инструмент для характеристики полупроводников, нано-устройств, таких как углеродные нанотрубки (CNT) и углеродные нанопровода (CNW), активных/пассивных компонентов, материалов и любых электрических устройств, требующих точного и аккуратного измерения напряжения/тока.

Технические характеристики