Описание

Вакуумный конденсационный манометр Setra 730 – это высокоточный абсолютный конденсационный манометр (также называемый конденсационным мембранным манометром (CDG)) для измерения низких диапазонов вакуумного давления, критически важных для контроля процессов в фотогальванике, полупроводниковых и промышленных отраслях. Модель 730 использует сварные компоненты, полностью изготовленные из инконеля, для работы с самыми агрессивными процессами. Инконель обладает высокой устойчивостью к коррозийным средам, используемым в вакуумных процессах полупроводников и промышленных приложениях.

Манометр 730 имеет конструкцию высокочастотной электроники, полностью соответствующую стандарту RoHS, что обеспечивает крайне низкий уровень шума при сохранении быстрого времени отклика, необходимого для критически важных приложений контроля. Также модель 730 имеет защиту от внешних шумов, быстрое прогревание и устойчивость к воздействию окружающей среды.

Конденсационный манометр 730 использует жесткий одноэлектродный элемент переменной емкости, что обеспечивает высокую способность к пере압реccии и превосходную долговременную стабильность. Манометр 730 обладает точностью ±0.5% от показания, низкой гистерезисной зависимостью и высокой разрешающей способностью, что обеспечивает широкий динамический диапазон и делает его идеальным для измерения и контроля критических производственных процессов.

Манометр 730 спроектирован с мембраной, которая измеряет изменения давления непосредственно в точке использования, независимо от смеси газов, что обеспечивает более высокую точность, чем манометр, способный измерять только косвенное давление.

Применения вакуумного конденсационного манометра Setra 730

• Полупроводники
• Нефтехимия
• Плазменные стерилизаторы
• Вакуумная упаковка

Технические характеристики

Характеристики

• ±0.5% от показания точности
• Бесконечное разрешение, ограниченное только уровнем шума на выходе (≤0.005% FS)
• Компенсированный диапазон от 0 до 50ºC
• ±0.25% FS/50ºC смещение нуля
• ±1.35% Rdg/50ºC смещение диапазона
• 0.5% FS/1 год долговременной стабильности
• Натянутый диафрагма
• Широкий компенсированный рабочий диапазон температур
• Соответствует CE и RoHS