Система для микроэлектроники и полупроводников

С большим полем зрения система инспекции DM3 XL позволяет вашей команде быстрее выявлять дефекты и увеличивать выход. Воспользуйтесь увеличением поля зрения на 30% благодаря уникальной макрообъективу. DM3 XL использует светодиодное освещение для всех методов контраста. Светодиодное освещение обеспечивает постоянную цветовую температуру и предлагает реальное цветное изображение на всех уровнях интенсивности.

Основные преимущества

• Правдивое цветное изображение при всех уровнях интенсивности
• Без необходимости в корректировках
• Без замены ламп – без простоев
• Воспроизводимые результаты

Осмотрите стороны, края или сколы с помощью наклонного освещения: освещайте свой образец под разными углами, чтобы визуализировать топографии. Выявляйте микроцарапины или мелкие частицы в нижних слоях образца с помощью глубинного контраста в темном поле.

Скорость имеет значение при инспекции, контроле процессов или анализе дефектов и сбоев в микроэлектронной и полупроводниковой промышленности. Чем быстрее вы обнаружите дефект, тем быстрее сможете отреагировать.

Увеличенное поле зрения

С большим полем зрения система инспекции DM3 XL позволяет вашей команде быстрее выявлять дефекты и увеличивать выход. Воспользуйтесь увеличением поля зрения на 30% благодаря уникальной макрообъективу.

Смотрите больше, работайте быстрее

Больше видеть значит быстрее работать. Для быстрого сканирования крупных компонентов до 6’’ DM3 XL предоставляет уникальный макрообъектив.

С увеличением 0.7x он захватывает поле зрения 35.7 мм сразу – на 30% больше, чем с другими обычными сканирующими объективами.

Макрообъектив для надежного выявления дефектов

С макрообъективом дефекты не имеют шансов:

• Надежно выявляйте недостаточную проработку на краях или в центре пластины
• Обнаруживайте неравномерную радиальную толщину пленки

Светодиоды для всех методов контраста

Система DM3 XL использует светодиодное освещение для всех методов контраста. Светодиодное освещение обеспечивает постоянную цветовую температуру и предлагает реальное цветное изображение на всех уровнях интенсивности.

Светодиоды также имеют длительный срок службы и низкое потребление энергии, что обеспечивает огромный потенциал экономии затрат.

Оптическая высокая производительность

С помощью DM3 XL вы можете воспользоваться оптическим превосходством по доступной цене.

Осмотрите стороны, края или сколы с помощью наклонного освещения: освещайте свой образец под разными углами, чтобы визуализировать топографии. Выявляйте микроцарапины или мелкие частицы в нижних слоях образца с помощью глубинного контраста в темном поле.

Вы будете поражены значительно увеличенной чувствительностью и разрешением.

Узнайте больше о нашем ассортименте объективов в Центре оптики Leica.

Разнообразие образцов – переменные вставки для столов

Независимо от того, какой размер и тип образца вы хотите проинспектировать, вы можете выбрать из разнообразных вставок для столов:

• Размер стола: 150 мм x 150 мм
• Вставки: металлические вставки, подставки дляwafer или подставки для масок
• Быстрая грубая или тонкая настройка стола

Комфортная и интуитивно понятная работа

Упрощая базовую настройку разрешения, контраста и глубины поля, помощник с цветной кодировкой диафрагмы (CCDA) помогает ускорить вашу работу и минимизировать операции ошибок.

Простая и интуитивная функциональность позволяет вашей команде быстрее достигать оптимальных результатов.

Держите руки на микроскопе и глаза на образце, переключаясь между контрастом или освещением благодаря легко доступным элементам управления.

Легко управляйте контроллером интенсивности света правой рукой.

Регулируйте микроскоп под различные высоты тела с помощью переменных ErgoTubes и фокусировочных ручек.

Технические характеристики