Компактный трехосевой интерферометр 10737L

Компактный левовращающийся трехосевой интерферометр Keysight 10737L повышает точность позиционирования прецизионного оборудования. Они позволяют выполнять до трех измерений (смещение, тангаж и рыскание) на одной оси. Его многокоординатные лазерные измерения обеспечивают точный контроль многокоординатных ступеней. Каждая линейная и угловая степень свободы может быть измерена и проконтролирована для компенсации механических несовершенств в движении ступени. Аналогичный по функциям интерферометрам 10735A и 10736A, он обеспечивает компактный, более дешевый пакет. Присущая ему параллельность пучка гарантирует, что по существу нет косинусной ошибки между тремя измерениями, а также обеспечивает угловую точность для измерений тангажа и рыскания. Другие характеристики включают:

• Простая многоосевая установка и выравнивание
• Быстрое подключение к удаленным приемникам
• Компактный, недорогой корпус
• Поворачивает измерительный луч влево

Модель 10737L идентична модели 10737R, за исключением того, что «L» отклоняет измерительные лучи влево, а «R» отклоняет лучи вправо, если смотреть со стороны входящего луча.

• Применение: 3 линейных измерения плоского зеркала (смещение по оси X, рыскание по оси Z и тангаж по оси Y)
• Отличительная особенность: компактный, недорогой 3-осевой измеритель (линейный, тангаж и рыскание)
• Количество осей: 3
• Максимальный размер луча: 3 мм
• Разделение лучей: см. характеристики
• Вес: 490 г (1 фунт 1,3 унции)
• Основное оптическое разрешение: λ/4 (158,2 нм, 6,2 мкдюйма)
• Разрешение системы: смещение λ/128 (5 нм, 0,2 мкдюйма), рыскание 0,07 угловой секунды (0,35 мкрад), шаг 0,14 угловой секунды (0,7 мкрад) на основе использования 32-кратного электронного расширения разрешения
• Разрешение системы: смещение λ/1024 (0,62 нм, 0,024 мкдюйма), рыскание 0,01 угловой секунды (0,04 мкрад), шаг 0,02 угловой секунды (0,1 мкрад) на основе использования 256-кратного электронного расширения разрешения
• Отражатель: плоское зеркало или кубические уголки
• Используемое крепление: 10711A
• Ссылка: Нет
• Включенная конфигурация: Да