Micro Pirani™ Vacuum Transducer 925-11020

Вакуумный трансдьюсер Micro Pirani™ 925-11020 с MEMS-датчиком основан на тепловой проводимости и представляет собой уникальный мембранный вакуумный сенсор. Этот трансдьюсер предлагает широкий диапазон измерений от 1×10^-5 Торр до атмосферного давления и оснащён фланцем NW16 ISO-KF. Он имеет интерфейс цифровой связи RS232 для настройки параметров трансдьюсера и для предоставления данных о давлении в реальном времени. 15-контактный разъём HD sub-D male обеспечивает аналоговый выход давления 1VDC/декаду, который можно подключить к внешнему аналоговому оборудованию для считывания давления или контроля. Сенсор MicroPirani состоит из кремниевой микросхемы с нагретым резистивным элементом, который образует одну поверхность камеры. Крышка на верхней части микросхемы формирует другую поверхность камеры. Из-за геометрии сенсора конвекция в камере невозможна, и следовательно, сенсор не чувствителен к положению установки. Газовые молекулы проникают только методом диффузии к нагретому элементу, где измеряется потеря тепла газа. Подобно всем датчикам тепловой проводимости, 925 чувствителен к типу газа. Для компенсации зависимости от газа MicroPirani имеет несколько распространённых газовых калибровок, которые могут быть выбраны через цифровой интерфейс. Это делает его простым решением для обнаружения средних и мелких утечек в вакуумных системах. Компактный дизайн 925 значительно снижает объём, занимаемый вакуумным датчиком, что особенно привлекательно для проектировщиков систем и позволяет создать более компактную вакуумную систему.

Технические характеристики

• Тип Вакуумный трансдьюсер
• Тип сенсора MicroPirani (тепловая проводимость MEMS)
• Дисплей Нет
• Диапазон вакуумного давления 1.0 x 10^-5 до 760 Торр
• Аналоговый выход 1-9 VDC (1 VDC на декаду)
• Тип связи RS232/аналоговый
• Точность 5 x 10^-4 до 10^-3 Торр ±10% от показания, 10^-3 – 100 Торр ±5% от показания, 100 Торр до атмосферы ±25% от показания (типично)
• Ориентация Любая
• Тип фитинга NW16 ISO-KF

• Реле заданной точки 0
• Экспонированные материалы Нержавеющая сталь 304, Кремний, SiO₂, Si₃N₄, Золото, Витон, Эпоксидная смола с низким выделением газов
• Электропитание 9 – 30 VDC
• Максимальная температура отжига 85°C (185°F)
• Диапазон рабочих температур 0 – 40°C (32 – 104°F)
• Электрический разъём 15-контактный, высокой плотности, D-sub male
• Сертификат CE Да