Линейные этапы с нанопозиционированием пьезо-стека

Технические параметры: диапазон перемещения 0.1 мм, оси перемещения XYZ, осевая нагрузочная способность 40/40/32 Н, вертикальная нагрузочная способность 30 Н, осевая жесткость 1 Н/м, обратная связь – тензодатчик, длина кабеля 2 м, несовместимость с вакуумом, емкость 1.8 Ф, точность замыкания в замкнутой системе типично 30 нм, разрешение в замкнутой системе 4 нм, перемещение в замкнутой системе 80 м, разрешение в открытой системе…