-
Интерферометр для измерения смещения ZMI™ Seriesоптический лазердля литографии
Стандартные конфигурации интерферометра ZYGO поддерживают множество типов сценариев измерений. Большинство интерферометров могут поддерживать прямую или прямоугольную ориентацию измерения и могут быть изготовлены для работы в вакууме. Этот прибор измеряет цели с помощью ретрорефлектора для отслеживания объектов, движущихся преимущественно в одном линейном измерении или вращающихся вокруг фиксированной точки. ZYGO предлагает стандартный и компактный линейный интерферометр, позволяющий […]

