Литиевые ниобатные пластины

Спецификации материала

Материал

Соответствует: LiNbO3

Качество материала

Пузырь или включение < 100 мкм

Кол-во < 8, 30 мкм < размер пузырька < 100 мкм

Ориентация

Вырез по оси Y ±0,2°

Плотность

4,65 г/см3

Температура Кюри

1142 ±1℃

Прозрачность

> 95 % для толщины 10 мм и более 450–700 нм

Производство Технические характеристики

Диаметр

150 мм ± 0,2 мм

Толщина

350 мкм ± 10 мкм

Плоскостность

Общее изменение толщины (TTV)

Локальное изменение толщины (LTV)

Bow

Шероховатость

< 1,3 мкм

Деформация < 70 мкм при пластине 150 мм

< 70 мкм при пластине 150 мм

Rq ≤ 0,5 нм (среднеквадратичное значение по данным АСМ)

Качество поверхности

40-20

Частицы

Неудаляемые частицы:

100–200 мкм ≤ 3 частицы,

20–100 мкм ≤ 20 частиц

Чип

< 300 мкм (полная пластина, без зоны отчуждения)

Трещина

Нет трещин (полная пластина)

Загрязнение

Нет неудаляемого пятна (полная пластина)

Параллелизм

< 30 угловых секунд

Ориентация плоская (ось X)

47 ± 2 мм