CVD-алмазы для подложек

Свойства алмазного материала для плазменного химического осаждения из паровой фазы

Физические свойства

Структура

Кубическая, поликристаллическая

Размер зерна

Толщина и обработка зависят (0,05–1 мм)

Марки

Оптический, Тепловой, СВЧ, Детектор, Механическая, пользовательская

Толщина*

до 2 мм

Производственные возможности

Допуск на размер

±50 мкм

Полировка соотношения сторон

До 50:1 для диаметров до 145 мм

Мощность

<0,5 полосы/см

Неравномерность

<0,5 полосы/см

Передаваемый волновой фронт

<0,5 полосы/см

Шероховатость поверхности

<15 nm

Оптические свойства

Объемное поглощение при 10,6 мкм

<0,07 см-1

Объемное поглощение при 1 мкм

<1 см-1

Разброс при 1 мкм

<0,7 см-1